PHYTRON VSS 57.200.1,2-GPL-HV-KTC-4Lp-1.5m 完整產(chǎn)品介紹

一、品牌基礎(chǔ)

PHYTRON（菲創(chuàng)，德國慕尼黑原廠）全球極端工況特種步進(jìn)電機(jī)龍頭品牌，專注高真空、高低溫、防輻射、半導(dǎo)體腔體專用兩相混合式步進(jìn)電機(jī)，整機(jī)德國制造，低出氣材料不污染真空腔體。

二、完整型號分段釋義

VSS 57.200.1,2 - GPL - HV - KTC - 4Lp - 1.5m

1. VSS：標(biāo)準(zhǔn)真空兩相步進(jìn)電機(jī)系列，適配真空腔體內(nèi)部直接安裝

2. 57：電機(jī)法蘭尺寸 57mm（NEMA23 標(biāo)準(zhǔn)大功率規(guī)格）

3. 200：每轉(zhuǎn) 200 整步，標(biāo)準(zhǔn)步距角 1.8°，步距精度 ±5%

4. 1,2：額定相電流 1.2A

5. GPL：集成VGPL 微型精密行星減速齒輪頭，低背隙、真空專用無揮發(fā)潤滑，大幅提升輸出扭矩

6. HV：High Vacuum 高真空等級，耐受真空度最高 10?? hPa；整機(jī) 200℃高溫烘烤除氣，低出氣絕緣材料；工作溫度區(qū)間 - 20℃~+200℃，抗輻射 10? J/kg

7. KTC：內(nèi)置 Pt100 繞組溫度傳感器，實(shí)時(shí)采集電機(jī)溫度，真空密閉腔體過熱保護(hù)

8. 4Lp：4 芯低放氣真空專用屏蔽出線

9. 1.5m：配套真空穿墻專用線纜總長 1.5 米

三、核心電氣機(jī)械參數(shù)（VSS57.200.1,2 本體）

• 相數(shù)：兩相雙極混合步進(jìn)

• 額定相電流：1.2 A

• 適配驅(qū)動(dòng)電壓：70 VDC（57 及以下 VSS 系列標(biāo)準(zhǔn)驅(qū)動(dòng)電壓）

• 基礎(chǔ)保持扭矩：約 0.75 N?m，加裝 GPL 行星減速后扭矩成倍放大

• 轉(zhuǎn)子慣量：約 650 g?cm2

• 整機(jī)重量：約 1.4kg（不含線纜）

• 軸承：真空干式低揮發(fā)潤滑軸承，適配長期真空無對流散熱工況

• 排氣孔設(shè)計(jì)：機(jī)身預(yù)留除氣孔，杜絕腔體內(nèi)部積氣析出污染物

四、核心產(chǎn)品特性

1. HV 高真空適配整機(jī)出廠高溫烘烤除氣，所有絕緣、潤滑材料低出氣，可直接放置真空腔內(nèi)部，無需復(fù)雜真空穿軸密封結(jié)構(gòu)，減少腔體粉塵污染。

2. 一體化行星減速 GPL微型行星齒輪集成于電機(jī)輸出端，縮小整機(jī)體積、降低轉(zhuǎn)速、放大輸出扭矩，適合真空腔體內(nèi)重型載臺、靶材旋轉(zhuǎn)等高負(fù)載定位。

3. 內(nèi)置 KTC 測溫保護(hù)真空環(huán)境無空氣對流散熱，電機(jī)極易過熱；Pt100 實(shí)時(shí)測溫反饋控制系統(tǒng)，超溫自動(dòng)停機(jī)保護(hù)繞組，延長設(shè)備壽命。

4. 1.5 米低放氣 4 芯線纜專用真空屏蔽電纜，適配真空法蘭穿墻接頭，無有機(jī)揮發(fā)物污染真空環(huán)境，布線長度 1.5 米適配多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)腔體尺寸。

5. 寬溫抗輻射-20℃~+200℃穩(wěn)定運(yùn)行，可用于輻照、航天、粒子實(shí)驗(yàn)室等強(qiáng)輻射工況。

五、典型應(yīng)用場景

1. 半導(dǎo)體真空鍍膜、PVD/CVD 設(shè)備晶圓重載位移臺

2. 電子顯微鏡、質(zhì)譜儀高真空腔體樣品載臺驅(qū)動(dòng)

3. 航天、核物理輻射環(huán)境精密定位機(jī)構(gòu)

4. 大型光學(xué)真空腔體、靶材旋轉(zhuǎn) / 角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)

5. 實(shí)驗(yàn)室高低溫真空試驗(yàn)平臺重型傳動(dòng)執(zhí)行單元